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Zibo Water Treatment Technology Co., Ltd.工厂会大量使用超纯水,大多数都用在各个制程前后的湿法清洗。超纯水中的任何污染物都会对良率造成影响,例如金属离子,有机物,细菌微生物,颗粒物,硅和溶解气体,不同的制程对于超纯水的规范要求如表1所示。
对于超纯水中的溶解气体,溶解氧会导致二氧化硅薄膜生长,互联线路腐蚀等问题,溶解二氧化碳会导致阴离子超标,设备运行不稳,水质电阻不达标等问题,溶解气泡会导致晶圆表面润湿或图形缺陷等问题。因此超纯水溶解气体控制至关重要。
超纯水生产有多道工艺逐级控制各种污染物,总得来讲分为第一阶段,预处理,最重要的包含多介质,活性炭,软化,超滤,两级RO,阴阳床,脱碳塔/膜接触器,各级加药等工艺;第二阶段,制成段,最重要的包含连续电除盐EDI,阴阳床,再生混床,UV, 第一级脱氧等工艺;第三阶段,抛光段,最重要的包含TOC-UV,抛光混床,终端超滤/终端滤芯,二级脱氧等工艺;典型的工艺流程如图1所示;
对于溶解气体控制,同样贯穿于超纯水生产的整个工艺流程,包括预处理阶段的二氧化碳的脱除;制成阶段的二氧化碳和溶解氧脱除;抛光段的溶解氧脱除以及抛光段的溶解气体添加。综上所述,超纯水中的溶解气体控制主要有如下几个应用点,第一,超纯水脱氧;第二超纯水脱二氧化碳;第三超纯水加气-机能水应用;
3M Liqui-Cel膜接触器产品已经广泛的应用于各Fab厂超纯水溶解气体控制应用,有超过40年成功应用历史,其稳定的性能和超长的寿命赢得了业主和合作伙伴的一致认可。关于Liqui-Cel膜接触器产品,下面我会简单给大家做个介绍。
Liqui-Cel膜接触器采用疏水聚丙烯材料建造,水不会润湿膜壁。特殊干拉状的膜孔,平均30nm的孔径,使得膜孔只有气体可以自由穿过,而水不会穿过,膜孔扫描电镜图如图2所示。
Liqui-Cel膜丝为中空纤维,300um外径,超高的封装率,产生了超大的气液接触界面和传质效率。超细的膜丝可以很好的承压,不会被外侧过大的水压压溃。
Liqui-Cel膜丝通过编织排布行程膜垫,确保纤维外侧的液体和膜丝可以充分接触,减少旁通。编织结构也可以产生局部湍流,提高传质效率。精确的编织同时保证了产品的一致性。(编织图片)
Liqui-Cel膜组件由膜垫卷绕塑封到膜壳内形成,中间部分由特殊的Baffle设计,确保水流入膜壳内强制辐射状垂直纤维流动,而不是平行于纤维流动,这种结构设计可以最大化气体传质。
Liqui-Cel膜接触器控制溶解气体的原理在于亨利定律,也就是控制与液体接触气相中的气相分压来控制液体中的溶解气体。能够最终靠扫惰性气体或抽真空降低分压进行脱气,也能增加分压进行加气,还能控制一定的分压调节液体中的溶解气体。Liqui-Cel膜接触器通过中空纤维膜壁上的孔提供了巨大的气液两相接触界面,从而最大化气体传质。
经过几十年的发展,Liqui-Cel已形成全系列产品线,可以针对不一样流量,不同应用,不一样的行业,不同规范要求,选择的膜组件。
图5,Liqui-Cel全系列产品线M Liqui-Cel膜接触器针对不一样应用,有多种工作模式,单一吹扫模式,单一真空模式,组合Combo模式和鼓风模式。使用最多的是Combo组合模式,即一侧吹扫惰性气体,另一侧抽线,Liqui-Cel膜接触器各工作模式
上面介绍完了Liqui-Cel膜接触器产品,下面我会分别从超纯水脱氧,脱二氧化碳,添加溶解气体这三个应用来详细的介绍一下Liqui-Cel膜接触器如何应用于这些应用。
溶解氧控制在半导体超纯水生产的基本工艺中主要有两个位置,如图1所示,一个在制成段,去除超纯水中绝大部分溶解氧,通常安装在混床或EDI后,纯水箱之前,将水中的溶解氧从饱和溶氧降低到30ppb以内,甚至10ppb以内。也能安装于EDI前,脱除二氧化碳的同时,同步脱除溶解氧。由于该脱氧位置脱除大部分溶氧,也叫第一级脱氧或主脱氧。第二个脱氧位置在抛光段,用于将残余的极少量溶氧降低到规范以下,通常在3ppb或1ppb以下,并维持抛光段循环的水一直维持超低氧运行,时刻满足POU用水点需求,这一个位置叫二级脱氧,由于抛光段对于纯度的要求很高,该阶段的脱氧设备所有接液材料需要同时满足高纯要求。二级脱氧通常安装在抛光混床后,也有安装于抛光混床前,TOC-UV后的位置。安装于TOC-UV后时,要避免TOC-UV过量的羟基氧化Liqui-Cel膜接触器。
规格为14x28或14x40。单只14x28膜最大流量在90立方。第二级脱氧由于高纯度要求,通常选用10x28,玻璃钢内衬PVDF膜壳。
脱除二氧化碳多用于水体含有过多的二氧化碳或高碱度的场合。二氧化碳通常会以游离二氧化碳或碳酸氢根的形式存在,会增加阴离子交换树脂的工作负荷,会导致EDI出水电阻不稳定,会减少硅和硼的去除率。因此阴床或混床前脱除二氧化碳能延续使用周期至少2倍以上,减少再生频率及其相关的化学品和水消耗。EDI对入水游离二氧化碳浓度有限制要求,就为了减少二氧化碳对EDI出水和运行的影响。通常游离二氧化碳的浓度被要求在5ppm以下,也有客户提出更高要求,二氧化碳脱除到1ppm以下。
Liqui-Cel膜接触器脱除二氧化碳有多个安装的地方,如图1所示,能安装于预处理阶段,比如一二级反渗透膜直接之间,用于替代添加氢氧化钠,对于一些高碱度水质,一级RO+Liqui-Cel+EDI可以很好的替代两级RO+EDI工艺,减少系统投资所需成本和运行能耗。Liqui-Cel膜接触器还可以替换脱碳塔,用于阴阳床之间,或者用于混床前,用于EDI前。相对于加碱和脱碳塔工艺,Liqui-Cel脱二氧化碳优势汇总如表2所示:
Liqui-Cel膜接触器脱二氧化碳系统建造也有多种模式可以再一次进行选择,能够最终靠吹扫压缩空气的方式,也能够最终靠吹扫空气+真空组合模式实现更高效率的脱碳。
除了从超纯水中脱除气体,为满足某些特定半导体机台的使用上的要求,还需要向超纯水中添加气体,比如氮气,氢气,二氧化碳气体,用来满足机台特定的机能,比如添加氢气或氮气提高一些超声波机台对于一些纳米级颗粒的清洗效率,添加二氧化碳提高超纯水电导,有利于提高CMP后清洗效率,或者添加二氧化碳改变水PH值等,因此这些加气的超纯水又称为机能水。
加氮机能水是半导体工艺常用的机能水,通常经过二级脱氧后,超纯水中溶氧小于1ppb,溶氮小于3ppm,而机台要求溶氮达到7ppm甚至更高到饱和溶氮甚至过饱和溶氮。而溶氮可以简单的通过在二级脱氧后再增加一级Liqui-Cel膜接触器来进行加气。加氮机能水可以很好的配合超声波工艺,产生小的气穴,提高对一些纳米级颗粒的去除率。
具体的加气系统,可以有两种配置,一是通过质量流量计控制添加量即可,第二种就是通过控制氮气压力来控制添加量,对于不饱和浓度溶氮,通常通过真空泵和氮气源来控制氮气侧压力来达到一定的要求的浓度。具体PID图如下:
3M Liqui-Cel膜接触器除了广泛的应用于半导体超纯水工艺,还用于半导体别的需要控制溶解气体的流体,比如用于镀铜机台电镀液脱除气泡,还可用于半导体厂高氨氮废水净化处理,脱除水中的氨氮,更多的内容会在后续内容向大家揭晓。关于更多的Liqui-Cel超纯水应用案例和其他半导体应用相关案例,欢迎浏览3M网站或者3M
主要由电磁系统、触头系统、灭弧系统及其它部分所组成。 1)电磁系统 电磁系统包括电磁线
是一种自动的电磁式开关,属于控制类电器,适用于远距离频繁地接通或分断交、直流电路及大容量控制电路。
有些厂家为减少相关成本,已经在偷工减料,比如:在线圈的制作减小线径甚至少绕匝数,在触头上用不符合国标的材料或厚度和截面都不够。这种情况不仅体现在
继电器的最大的作用则是起信号检测、传递、变换或处理用的,它通断的电路电流通常较小,即一般用在控制电路(与“主电路”对比)。
线圈通以交流电,主触点接通、切断交流主电路当交变磁通穿过铁心时,将产生涡流和磁滞
适用于建筑业和工业领域,如:电机控制、保暖和通风、空调、水泵、提升设备、照明和校正功率因数等。
)适用于交流50Hz(或60Hz),电压660V,电流至9A及以下的电路
关闭时,ESP32 wrover 都会重置,否则它会正常工作。可能是 EMC 或电源电压下降。确保 ESP 的电源与
运行过程中常见的问题、故障做了简要分析,并提出了处理方法,在实际运行过程
利用主接点来开闭电路,用辅助接点来执行控制指令。 主接点一般只有常开接点,而辅助接点常有两对具有常开和常闭功能的接点,小型的
,结构为上下布置方式,标称电压7.2kV,额定电流400A。ABB公司在20世纪90年代初,推出左右结构的ZVC型高压真空
组成,动作机构为直动式,触头为双断点,磁系统为E字形铁芯,迎接式结构,磁系统为塔式弹簧的吸反力配合。
和 arduino uno 板来控制电池过载。怎么样去使用arduino板控制
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最新大纲及电工(初级)考试真题出具,有助于电工(初级)操作证考试考前练习。1、【判断题】直流
工作原理相同。()(√)2、【判断题】()用于供给电力和照明混合负载的变压
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,主触头可以带有连锁接点以表明主触头的开闭情况。而继电器一般用在电器控制电路
,用来扩展微型或小型继电器的触点容量,以驱动较大的负载。如可以用继电器的触点去接通或断开
能不能用在这个旁路功能上?若能的话,是需要在线路上加上RC过压器件?
—用于频繁接通或断开交直流主电路或大容量控制电路按主触头通过的电流种类分为:交流
广义上是指工业电中利用线圈流过电流产生磁场,使触头闭合,以达到控制负载的电器。
的接线柱太多,每个接线柱功能又不一样,名称却很相近,大家很容易混淆。关于
除了主触点之外还有其它辅助触点,如果利用其它辅助触点来做自保持触点即自锁,按钮被按下后
利用的是磁极的同性相斥,是一种采用永磁驱动机构取代传统的电磁铁驱动机构而形成的一种微功耗
,目前国内已有很多此类的成熟产品,如CJ20J、NSFC1、NSFC2等。
(Contactor)是指工业电中利用线圈流过电流产生磁场,使触头闭合,以达到控制负载的电器。
由电磁系统(衔铁、静铁心、电磁线圈)触头系统(常开触头和常闭触头)和灭弧装置组成。
是一种应用广泛的开关电器。大多数都用在频繁接通或分断交、直流主电路和大容量的控制电路,可配合继电器远距离操作、定时操作,其主要控制对象是电动机,也可用于控制其它电力负载。
主要由电磁系统、主触头系统、辅助触头系统、灭弧系统、释放弹簧机构、接线端子、绝缘外壳及基座等组成。直流
的电磁铁芯有涡旋,因而电磁铁芯一个接一个地累加在一同。 防止电磁在零一霎时释放开来,在电磁铁芯上提升短路毛病
,考虑电机启动电流大,直接启动是额定电流6倍左右,星形启动是角形的三分之一,也得200安左右。他让我推荐一个型号的
广义上是指工业电中利用线圈流过电流产生磁场,使触头闭合,以达到控制负载的电器。
是一种用于控制电气设备电路通断的电器装置,通常包括控制电源、控制回路、主电路和机械执行机构等。
的主要作用是实现电路开关或控制,在工业自动化领域得到普遍应用。它能够最终靠控制电磁铁的闭合
应定期检查,检查周期应视具体的工作条件而定。检查的项目具体如下: 1、通过的负荷电流是否在交流
是一种用于控制电气设备的电磁继电器,广泛应用于各种电气控制系统中。不同型号的交流
是一种用于远距离、频繁地接通和断开主电路和大容量控制电路的电器。它主要用于控制电动机、变压器、电容器等设备的启动、停止、正反转及转换等操作。交流
是一种用于远距离、频繁地接通和断开主电路和大容量控制电路的电器。它主要用于电力系统中,对电动机、变压器、电容器等进行控制和保护。根据不同的分类标准,交流
是一种用于控制电气电路的电器设备,其工作原理是基于电磁吸合原理。它通常用于控制大功率电机或其他高功率负载,经过控制
是电气控制装置中常见的一种,大范围的应用于电动机的起动、制动和转向等电力系统中。然而,在长时间使用的过程中,
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